Applikationsbericht

Flachbildschirm HF-Ätzlösungen

Applikationsbericht

Leitfähigkeits- und pH-Messung mit den richtigen Sensoren

Bei der Herstellung von Flachbildschirmen ist das Ätzen mit Fluorwasserstoffsäure ein wichtiger Schritt. Aufgrund der Korrosivität von HF erfordern Ätzbäder sowie Spülwässer und Abwasserneutralisierung eine sorgfältige Auswahl von Leitfähigkeits- und pH-Sensoren für die Prozessüberwachung.

Diese Application Note befasst sich mit der Rolle von Leitfähigkeits- und pH-Sensoren in HF-Ätzprozessen für Flachbildschirme und zeigt, warum die Auswahl der richtigen analytischen Sensoren für Ätz-, Spül- und Abwasserbehandlungsprozesse so wichtig ist.