梅特勒托利多携手集成电路材料创新联合体

 

共探半导体材料检测技术

2024年8月2日，集成电路材料创新联合体携手梅特勒托利多科技 (中国) 有限公司、Park原子力显微镜公司共同举办集材大讲堂第五期活动——半导体材料检测技术研讨会。本次会议邀请5位来自行业、高校院所专家作报告，吸引60余位集成电路行业人员参会。

集成电路材料创新联合体副秘书长周逸晟作为本次活动主持，会议伊始，她表示，材料联合体保持着国际开放合作的态度，希望能与梅特勒托利多等国际企业一道积极推动国际国内材料、设备及零部件等企业友好进行产业与技术交流。

梅特勒托利多中国区市场中心负责人邓桂凤女士在会上致辞，她表示，半导体材料是下游应用的基石，其性能表现直接关系到下游的发展质量。因此，先进的表征与分析检测技术对产品良率至关重要。本次活动搭载集成电路材料创新联合体，与行业人员共同探讨集成电路材料检测技术。梅特勒托利多将带来半导体材料生产、研发的系列技术解决方案。

报告环节，梅特勒托利多工业行业负责人刘超先生带来了主题演讲分享——“半导体产业链智能称重应用”。刘老师指出， 生产计量称重对半导体材料制作进行精准控制，是实现材料产品良率最大化的重要工具。例如湿电子化学品工艺过程中，精馏和过滤工艺，原料存储计量、过程料位计量、包装计量及复核、贸易结算以及后期的混配工艺和配料管理应用中都需要称重工具支撑，确保最终产品的质量和工艺表现稳定性。

此外，梅特托利多过程分析行业负责人马珺瑛女士发表“在线检测技术在半导体材料生产的新应用”的主题演讲。马老师指出，随着半导体进程的发展，IC制造对湿电子化学品污染控制提出了更高的要求，梅特勒托利多6000TOCi总有机碳分析仪，打断了非离子有机物（不导电）的化学键，将其氧化成为可导电的物质，从而能够进行快速而连续地测量，有效在线监测有机物污染情况，相比其他方法，具有更低的检测限。

会后，参会观众与报告嘉宾进行了热烈的讨论互动，深入探讨了集成电路材料检测技术的各种可能性。

上海集成电路材料研究院

上海集成电路材料研究院是一家聚焦集成电路材料以及产业关键技术的研发与产业化的新型研发平台，面向集成电路材料研发共性问题，建设一系列开放性集成电路材料研发实验室，包括产业技术实验室、性能实验室、应用实验室及计算实验室，为合作伙伴提供理化性能测试表征服务、工艺环境应用验证服务、材料研发技术服务，主攻大硅片、高端光刻胶、先进掩模版、先进抛光材料、高纯工艺化学品、高纯电子气体等方向。

关于梅特勒托利多

梅特勒托利多（METTLER TOLEDO）是历史悠久的精密仪器及衡器制造商与服务提供商，产品应用于实验室、制造业和零售服务业。我们提供贯穿客户价值链的称重，分析和产品检测解决方案。我们的精密仪器是全球研究与质量控制实验室的基础。了解更多，欢迎登录梅特勒托利多官网 https://www.mt.com