随着集成电路工艺的迭代升级,关键尺寸变得越来越小,对污染物也越来越敏感。因此半导体制造中使用的超纯水的标准也相应提高。此外,清洗步骤也比之前变得更多,用水量激增,水资源的回收利用也变得更加重要。您做好准备了吗?快扫描左侧二维码,来听听专家怎么说。
张坤裕
兆联实业股份有限公司
技术经理
刘仁浩
梅特勒托利多过程分析
产品经理
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本手册涵盖的主题包括: