Wasserrückgewinnung in der Mikroelektronik

Da Wasser immer mehr zu einem kostbaren Gut wird, ist die Maximierung seiner Nutzung und Rückgewinnung in der Mikroelektronik entscheidend. Eine effiziente Wasserrückgewinnung in der Mikroelektronik erfordert den klugen Einsatz von Online-Wasseranalysen.

Dieses Whitepaper befasst sich mit der Bedeutung von Wasserrückgewinnung und -wiederverwendung sowie mit Strategien zur Wasserrückgewinnung. Es zeigt, wie einige Fabriken eine Wasserrückgewinnung von bis zu 85% erreichen.

Messungen des gesamten organischen Kohlenstoffs (TOC) und der Leitfähigkeit/Resistivität sind entscheidend für eine effiziente Wasserrückgewinnung in Mikroelektronik- und Halbleiterproduktionsanlagen. Die unterschiedliche Beschaffenheit des Abfallstroms aus der Fertigung macht mehrere analytische Messparameter erforderlich. Die Einbeziehung eines leistungsstarken TOC-Analysators ist eine Komponente, die für eine effiziente Kontrolle erforderlich ist. Ein TOC-Analysator ermöglicht eine höhere Rückgewinnung von Wasser aus dem Prozess und reduziert gleichzeitig die Wassermenge, die abgeleitet werden muss.