Die Herstellungsprozesse in der Mikroelektronikbranche erfordern zur Sicherstellung höchster Ausbeuten große Mengen Reinstwasser. Zum Reinigen, Spülen und Ätzen der Wafer und Substrate verbraucht ein normaler Standort täglich tausende Kubikmeter UPW. Prozessanalytische Messungen sind der Schlüssel zur optimalen Wassernutzung, wobei Wasserrückgewinnung und Wiederverwendung eine entscheidende Rolle spielen.
Mettler-Toledo Thornton ist Anbieter umfangreicher Messtechnik, die ganz speziell auf die extrem hohen Anforderungen bei der Gewinnung von UPW für Anwendungen in der Mikroelektronikindustrie ausgelegt sind. Wir liefern leistungsstarke messtechnische Lösungen zur Überwachung von Widerstand/Leitfähigkeit, TOC, pH, Redox, gelöstem Sauerstoff und gelöstem Ozon. Damit kann die Menge an zurückgewonnenem Wasser gesteigert werden bei gleichzeitiger Verringerung des anfallenden Abwassers, was letztendlich die Kosten der Wasserbehandlung reduziert. Weitere Informationen zu Inline-Messlösungen und unserem einzigartigen Intelligent Sensor Management (ISM™) Konzept.
Mettler-Toledo Thornton ist Anbieter umfangreicher Messtechnik, die ganz speziell auf die extrem hohen Anforderungen bei der Gewinnung von UPW für Anwendungen in der Mikroelektronikindustrie ausgelegt sind. Wir liefern leistungsstarke messtechnische Lösungen zur Überwachung von Widerstand/Leitfähigkeit, TOC, pH, Redox, gelöstem Sauerstoff und gelöstem Ozon. Damit kann die Menge an zurückgewonnenem Wasser gesteigert werden bei gleichzeitiger Verringerung des anfallenden Abwassers, was letztendlich die Kosten der Wasserbehandlung reduziert. Weitere Informationen zu Inline-Messlösungen und unserem einzigartigen Intelligent Sensor Management (ISM™) Konzept.
Halbleiterindustrie Reinstwasser ist eines der am häufigsten verwendeten Medien in der Halbleiterindustrie zur Herstellung und Reinigung von Wafern. Für einen effizienten Betrieb unter Einhaltung der strengsten Vorschriften für Reinstwasser ist für Ihr UPW-System eine Prozesssteuerung unverzichtbar. | Flachbildschirme Bei der Herstellung von Flachbildschirmen gelten sehr strenge Toleranzen für die Verunreinigung mit Ionen und organischen Verbindungen in Wasserversorgungssystemen für Rein- und Reinstwasser. Mit der Messung der Verunreinigungen in ihren UPW-Systemen können die Hersteller von Flachbildschirmen die Qualität ihrer Produkte verbessern und die Ausbeute steigern. | Photovoltaik Bei der Produktion von Solarzellen muss darauf geachtet werden, dass die Oberfläche der Wafer absolut sauber ist. Daher werden Wafer auch ausgiebig mit Reinstwasser gereinigt und gespült. Ablagerungen wie Salze und organische Verbindungen beeinflussen die Leistungsfähigkeit der Zellen und müssen daher laufend überwacht werden. | ||
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Download Center Laden Sie sich hier einen Newsletter oder eine unserer Broschüren herunter. Finden Sie die passende Antwort darauf, wie Sie lästige Prozessunterbrechungen ein für allemal in den Griff bekommen. | Produkte und Lösungen Unser umfassendes Produktangebot bietet auch Lösungen für die anspruchsvollsten Anwendungen in der Mikroelektronik. | Intelligent Sensor Management Die Intelligent Sensor Management (ISM) Plattform ist ein bahnbrechendes Wartungskonzept. Es vereinfacht die Handhabung der Sensoren, erhöht die Zuverlässigkeit und reduziert die Betriebskosten der Sensoren. | ||